4.3 吹扫和排气系统

4.3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定：

    1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连；
    2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源；
    3 吹扫气体管线应设置止回阀。

4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。

4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定：

    1 真空发生器宜采用氮气作为引射气源；
    2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给；自燃性和腐蚀性气体，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀。

4.3.4 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定：

    1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置；
    2 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过尾气处理装置处理，处理后的气体应符合现行国家废气排放要求。

4.3.5 特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定：

    1 尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置；
    2 尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备布置；
    3 特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附、湿式洗涤、加热分解、燃烧、等离子分解、稀释及以上几种处理方式的组合。

条文说明
 

4.3.1 本条为强制性条文，必须严格执行。
    根据美国消防协会标准《半导体生产设 施 防 护标准》NFPA318-2018第7.1.4条的相关条文对特殊气体系统吹扫气体的设置做了规定。
    7.1.4.4 吹 扫 面板的设计应防止吹扫气体和工艺气体的返流与交叉污染。
    7.1.4.7 危 险 性 气体钢瓶的吹扫面板应配置专用吹扫钢瓶。
    7.1.4.7.1 相容气体的吹扫面板可以共用一支吹扫钢瓶。
    7.1.4.8 危险性气体钢瓶的吹扫面板不得使用大宗气体气源 。
    1 本款规定自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连，目的是为了防止上述危险性特种气体污染公用和工艺气源系统。
    2 本款规定不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源，目的是防止操作不当造成不相容的特种气体混合后造成污染和发生不良反应。
    3 本款规定吹扫气体管线应设置止回阀，目的是为了防止自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体被本质特种气体污染，引发着火、中毒或设备拉坏等事故。
4.3.2 本条从特种气体质量及系统安全的方面规定了吹扫氮气的气体面板的设置要求。当调压阀下游的管件耐压等级低于吹扫气瓶的最高压力，且未设置超压气源自动切断装置时，应设置安全阀，避免低压阀件损坏。
4.3.3 本条对特种气体系统的辅助抽真空装置的设置做了规定。
    1 由于电子工厂常有氮气供应，且氮气价格低廉、性能稳定，所以特种气体系统的真空发生器一般采用氮气引射抽真空。
    2 抽真空用氮气宜在进人真空发生器前加装止回阀，并保持微量气体流通，以避免真空发生器出口发生堵塞、排放气体倒灌的风险。
4.3.4 本条对特种气体排气与废气处理的设置做了规定。
    2 自燃性、易燃性 、毒性、腐蚀性特种气体系统在抽真空或吹扫过程中排出的超过规定浓度的特种气体和特种气体混合气对环境与人体将会造成着火、中毒和损害设备、管路等安全危害，因此，这些特种气体及混合气应通过排气管道进人尾气处理装置进行处理，达到规定浓度后才能排人厂务排气系统。
4.3.5 尾气处理装置的设置是特种气体系统的重要部分之一，既涉及特种气体系统的储存、输送系统的安全运行，也涉及生产厂房，周围环境安全以及人员健康。
    1 尾气处理装置的类型有多 种 ， 具 体某种特种气体尾气处理装置的选型，应根据其物理化学性质，排气中特种气体的浓度等特性进行选择。几种尾气处理方法对特种气体的适用性大体是:干法吸附较适用于AsH3等；湿法洗涤较适用于NH ₃、NO _x、HC I等； 热分解或燃烧式较适用于CF ₄、SF ₆、SiH ₄、PH ₃ 等特种气体。

    3 为防止不相容性特种气体发生反应引发事故 ，不相容 性 特种气体应分别采用不同的尾气处理装置进行处理。从安全和环境 保护的角度出发，尾气处理装置靠近特种气体设备布置是为了缩 短管道长度，便于与特种气体设备一并考虑建筑、电气的设计。